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隨著科技的前進(jìn)和產(chǎn)品技術(shù)的不斷提升以及我國(guó)對(duì)外開(kāi)放的深化，大批的外資企業(yè)在我國(guó)設(shè)立其制造基地，特別是近年來(lái)半導(dǎo)體職業(yè)的大舉進(jìn)入，其全新的出產(chǎn)工藝及出產(chǎn)過(guò)程中對(duì)環(huán)境溫、濕度、潔凈度的較高要求，需求我們供給一個(gè)比較有效且比較低能耗的空調(diào)體系，特別需求有低濕度的空調(diào)環(huán)境確保。

現(xiàn)在，空氣除濕主要有四種方法，通風(fēng)除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調(diào)除濕體系中，冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手段。冷卻除濕在環(huán)境對(duì)濕度要求不是很高（RH≯60～65％）的條件下，作用還是比較好，性能安穩(wěn)且能耗也比較低，現(xiàn)在使用比較廣泛。但在出產(chǎn)環(huán)境對(duì)濕度要求較高（RH=45±5％）的當(dāng)?shù)?，選用冷卻除濕顯著是不經(jīng)濟(jì)的。選用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)，將不受空氣露點(diǎn)影響，且除濕量大，特別適用于低濕條件下，但如果全部除濕僅選用固態(tài)吸附原理的轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行，因?yàn)槠湓偕哪芰恳脖容^大，此種計(jì)劃也不是較經(jīng)濟(jì)的。因?yàn)檗D(zhuǎn)輪除濕和冷卻除濕各有所長(zhǎng)，將其優(yōu)化組合，各取所長(zhǎng)，互補(bǔ)所短，會(huì)更好的發(fā)揮其效能。

濕度在半導(dǎo)體職業(yè)中的要求半導(dǎo)體的出產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下，出產(chǎn)車(chē)間內(nèi)部要求維持安穩(wěn)的環(huán)境，特別是關(guān)于出產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)厲的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境體系的要求，因?yàn)殡娮赢a(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響，其對(duì)濕度的精度提出了嚴(yán)厲要求，關(guān)于空調(diào)體系的裝備，則要求體系同時(shí)具備夏季除濕的功用和冬天加濕的功用。一般的，半導(dǎo)體出產(chǎn)職業(yè)的溫濕度條件為：T=22±2°C，RH=45±5%；而關(guān)于這個(gè)溫濕度要求，傳統(tǒng)上經(jīng)常選用冷凍除濕+后加熱（再熱）方法進(jìn)行處理，并取得了一定效果。但這種方法卻存在著一個(gè)致命問(wèn)題，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費(fèi)，特別是因?yàn)榘雽?dǎo)體職業(yè)的大新風(fēng)，大排風(fēng)體系、出產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及現(xiàn)在許多廠主要會(huì)集分布在華南和華東地區(qū)的特殊情況，使得這個(gè)問(wèn)題十分杰出。因此，在新的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)體系開(kāi)始使用新風(fēng)經(jīng)過(guò)新風(fēng)機(jī)組（冷卻除濕）和轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)聯(lián)合處理濕度、溫度然后經(jīng)往后空調(diào)機(jī)組處理的組合方法，達(dá)到室內(nèi)送風(fēng)溫、濕度要求，并取得了顯著收益。

轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)體系的特性

轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕空調(diào)體系，是將具有冷熱交換的冷卻除濕循環(huán)體系與轉(zhuǎn)輪除濕相結(jié)合，利用制冷體系的吸熱除濕進(jìn)行前期除濕，而利用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行深度除濕。冷卻除濕在一定的范圍內(nèi)除濕作用好，且性能安穩(wěn)，但當(dāng)濕度要求較低時(shí)，冷卻除濕的才能顯著下降，此時(shí)選用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕體系，能夠達(dá)到很好的作用。冷卻除濕作為前期除濕，杰出了冷卻除濕機(jī)高露點(diǎn)工況下能耗低的特點(diǎn)，利用轉(zhuǎn)輪除濕進(jìn)行深度除濕，杰出了轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)低溫低濕條件下，不受露點(diǎn)約束且除濕量大的優(yōu)點(diǎn)。此體系常用的處理流程如下：1：冷卻除濕；2：轉(zhuǎn)輪除濕；3：等濕冷卻；5：再生加熱；6：絕熱再生